开启式RTP快速升降温退火炉，是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体上下两半设计，可自由打开闭合，安全可靠，炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高温保护涂层，既能降低热量损耗，还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内，内部洁净度高，可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热，升温速度快达30℃/S，炉体下部配有轨道，可左右移动至底部风扇处，以达到快速冷却的目的。 | ||
技术参数 | ||
项目 | 主要技术指标 | 数据 |
温度控制 | 最高温度点 | 1000℃ |
额定温度 | 980℃ | |
稳定状态温度范围 | 800℃ | |
温度测量精度 | ±1℃ | |
温度控制重复性 | ±1℃ | |
温度控制精确度 | ±1℃ | |
温度均匀性 | ±2℃ | |
温度状态工艺时间 | 7-32 S（200-1050℃） | |
最快升温速率 | 30℃/S（可按需定制） | |
降温速率 | 1-200℃（将试样移出加热区域或通氮气可加快降温） | |
温度控制模式 | 智能模糊PID全闭环控制 | |
触摸屏 | 尺寸 | 7寸LCD 工控 |
物理指标 | 最大功率 | 27 Kw |
额定电压 | AC380V，50/60Hz | |
测温元件型号 | K型热电偶 | |
石英管规格 | Φ100*1500 | |
真空度 | 选配分子泵真空度可达4*10-3Pa | |
抽气端口尺寸 | KF25或Φ6mm | |
进气端口尺寸 | Φ6mm | |
冷却方式 | 自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） | |
外形尺寸 | 深500*宽1520*高620 | |
设备重量 | 80Kg | |
