真空系统：（优点：效率高、无污染、低能耗、低噪音）
1.极限真空度： ≤6.67*10-3Pa
2.复合真空计：壹套（微行标配）
3.复合分子泵：壹台（微行标配）
4.旋片机械泵：壹台（微行标配）
5.真空机组功率：5Kw
6.复合真空计：ZDF5227BV01 测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa7.
7.压升率: ≤0.67Pa/h
（六）、气路系统：保护气氛，高纯=氮气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、防爆阀、微调阀、316L不锈钢管路、扩散硅压力传感器、电接点压力表、浮子流量计组成。系统可根据不同温度段充入不同压力的冷却气体，充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气，超压时可自动排压，当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动，用于高温停水充气保护。
（七）水冷系统：真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，每个电极冷却均配有水流量观察仪，主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。建议配工业制冷机，
（八）随货资料：
1.标注轮廓尺寸的平面布置图 1份；
2.地基条件图与动力条件图 1份；
3.设备总图 1份；
4.电控系统原理图及配线图 1份；
5.使用说明书、操作、维修、保养手册 1份；
6.所有设备配套仪器，仪表使用说明书 1份。
（九）设备安装运行条件：（供参考，以合同为准）
A、环境条件：
1）环境温度：－15－45℃
2）海拔高度：≤2000m
3）环境相对湿度：≤75%
B、电源条件：
1）额定电压：三相380V-440(±10V)
2）额定频率：50Hz
3）整机配电功率：≥60KW
C、水冷条件：
1）水压：0.2~0.4MPa
2）进水温度：≤15℃
3）水流量：≥5m³/h
4）水质要求：不含泥沙及杂质的软水，电阻率≥1M(Ω·mm2/m)，PH≈7。本产品在运行时要求持续供应符合要求的冷却水，为保证本产品的安全，需方须自备紧急用水源，当停电时仍有冷却水供给。
D气体:
1）氮气：用于保护气氛 纯度≥99.999%，0.2~0.4MPa
2）压缩空气：用于启动装置的驱动气源、压力0.3~0.6MPa，无油、无水干净的气体。
